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Selective Manganese Deposition for CU_low K Nano Device Interconnect
Son C. Nguyen,Tuan Vo,Deepika Priyadarshini,Thomas J Haigh, T. Nogami,Sidney Cohen,P. Flaitz, Ying Lin,H. Shobha, A. Grill,D. Canaperi, Roy G. Gordon
openalex（2015）
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