近年来主要从事微纳米加工制备与检测技术、微纳米控制技术及原子力显微镜（AFM）技术、扫描隧道显微镜（STM）技术等领域的研究开发工作。作为负责人承担的研究项目主要有：”薄膜功能材料构性关系原位研究平台“（国家重点研发计划项目子课题）、“大面积超高透射率减色滤波器研究”（国家自然科学基金）、“激光光致热塑膨胀效应及三维微结构制备成型新方法研究”（国家自然科学基金）、“基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究”（国家自然科学基金）、“无序合金结构和性能表征的新方法和新技术” （973计划子课题）、“无序合金材料同步辐射研究”（国际合作）、“利用同步辐射LIGA技术开展光热微驱动器的研究和应用”（浙江省自然科学基金重点项目）、“大尺寸大范围高分辨AFM技术研究”（重大横向）、“用于纳米力学和机械性能测量的SPM技术及系统”（重大横向）、“用于纳米计量的双元原子力显微镜技术”（横向）、“新型卧式原子力显微镜技术”（横向）等。作为课题组副组长或主要参与人员完成863项目以及多项基金项目。近5年在Optics Letters, Nanotechnology, Appl. Phys. Lett.，Journal of Micromechanics and Microengineering、Optical Express、Nature: Scientific Reports 等国内外核心刊物发表学术论文100余篇，其中SCI收录论文70余篇，EI收录论文30篇，ISTP收录论文10篇，授权国家发明专利18项、公开中6项，授权实用新型专利20项，计算机软件著作权登记5项。