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Rapid Cooling Process-driven Enhancement of an Orthorhombic Phase in Ferroelectric HfZrOx of Sub-3 Nm Ultrathin Films by Atomic Layer Deposition
So Yeon Shin, Yeon-Je Yu, Ae Rim Choi, Dohee Kim,Ja-Yong Kim,Seung Wook Ryu, Il-Kwon Oh
Applied Surface Science Advances (2025): 100728
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Low Voltage and High Speed 1xnm 1T1C FE-RAM with Ultra-Thin 5nm HZO
Minchul Sung,Kwangmyoung Rho,Jayong Kim,Junho Cheon,Kiyoung Choi,Dohee Kim,Hoseok Em,Gyeongcheol Park, Jungwook Woo, Yeongyu Lee, Jaehyeon Ko, Moonhoi Kim,Gwangyeob Lee,Seung Wook Ryu,Dong Sun Sheen, Yangsung Joo,Seiyon Kim,Chang Hyun Cho,Myung-Hee Na,Jinkook Kim
2021 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) (2021)
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