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Interface Engineering of Underlayer of Chemically-Amplified EUV Photoresists to Enhance the Photolithographic Performance
Tao Wang, Changchang Zhuang, Guo Yang,Hanshen Xin,Lin Jiang,Jianhua Zhang
Materials Science and Engineering B (2024): 117539-117539
引用2浏览0引用
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Vacuum Cleaning of Amorphous Carbon Using Hydrogen Plasma for EUV Lithography
Guo Yang, Lifang Wu,Tao Wang,Xingyang Wu,Shenghao Wang,Luqiao Yin,Zihan Wang,Lin Jiang,Jianhua Zhang
Materials Science and Engineering B (2024): 117545-117545
引用2浏览0引用
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Graphene-oxide-modified MnO2 Composite Electrode for High-Performance Flexible Quasi-Solid-state Zinc-Ion Batteries
Ning Pang, Mengqiu Wang,Xue Wang,Dayuan Xiong,Shaohui Xu, Xuehui Lu,Lianwei Wang,Lin Jiang,Paul K. Chu
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-ADVANCED FUNCTIONAL SOLID-STATE MATERIALS (2024)
引用6浏览0引用
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