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Improving Safety in Dopant Gas Delivery Systems
Josep Arnó,Mitchell H. Weston
MRS Advancesno. 36 (2023): 1421-1425
引用0浏览0引用
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Dopant Gas Purity and Adsorbent Stability
Josep Arnó,Omar K. Farha, William Morris,Paul W. Siu, Glenn M. Tom,Mitchell H. Weston,Patrick E. Fuller
MRS Advancesno. 36 (2022): 1426-1430
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ION-X Dopant Gas Delivery System Performance Characterization at Axcelis
J. Arno,O. K. Farha,W. Morris,P. W. Siu,G. M. Tom,M. H. Weston,P. E. Fuller
2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT)pp.227-230, (2018)
引用2浏览0EIWOS引用
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Evaluation of ION-X® Hydride Dopant Gas Sources on a Varian VIISion High Current Implanter
K. Kerkel,J. Arno, G. Reichl, J. Feicht, H. Winzig,O. K. Farha,W. Morris,P. W. Siu,G. M. Tom,M. H. Weston,P. E. Fuller
International Conference on Innovations in Information Technologypp.223-226, (2018)
引用3浏览0EIWOS引用
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