研究领域

针对半导体器件中各类缺陷严重制约器件性能及可靠性的问题，通过激光与半导体材料相互作用的理论建模、缺陷的光学表征和激光加工缺陷修复技术，实现缺陷调控及器件可靠性的加固。

迄今为止，共发表SCI/EI检索论文30余篇，申请中国发明专利36项。