主要研究方向

极紫外光刻光源、X射线激光。

发表学术论文10余篇，其中被SCI收录3余篇，申报发明专利12项。

研究工作简历

1.放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究，国家自然科学基金重点课题，2009-2013，主要参与者，已经完成。

2.放电等离子体极紫外光源技术研究，国家科技重大专项02专项课题，2009-2015，,主要参与者，正在进行。