基本信息
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个人简介
长期专注于高端光刻机超精密工件台的研发,作为结构技术负责人主持了双工件台研发过程中每个关键技术节点的结构方案制定和结构设计工作。研究领域涉及双工件台系统设计、结构创新和关键技术研究。在关键技术方面,研究主要涉及气浮轴承分析与应用、动力学分析与优化、高性能驱动、激光干涉位移测量及核心制造工艺攻关。
研究兴趣
论文共 327 篇作者统计合作学者相似作者
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arxiv(2025)
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JOURNAL OF MATERIOMICSno. 1 (2025)
Journal of Manufacturing Systems (2025): 153-177
IEEE/ASME Transactions on Mechatronicsno. 99 (2025): 1-13
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS (2024)
JOURNAL OF FLUIDS ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASMEno. 10 (2024)
RELIABILITY ENGINEERING & SYSTEM SAFETY (2024)
Information Dynamics and Applicationsno. 3 (2024): 162-170
2024 4th International Conference on Electronic Information Engineering and Computer Communication (EIECC)pp.11-16, (2024)
MATEC Web of Conferences (2024)
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作者统计
#Papers: 329
#Citation: 3562
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Diversity: 4
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