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Development of 157-Nm Small-Field and Mid-Field Microsteppers

RE Miller, P Bischoff,R Sumner,S Bowler,WW Flack, G Fong

OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XIII, PTS 1 AND 2（2000）

引用 8|浏览7
关键词
157nm lithography,microstepper,sub-100nm resolution
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