Embedded Source/Drain SiGe Stressor Devices on SOI: Integrations, Performance, and Analyses
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES（2006）
关键词
embedded source/drain (S/D) stressor,in situ doping,mobility enhancement,SiGe epitaxy,silicon-on-insulator (SOI),strain
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要