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Hybrid Metrology Solution for 1X Node Technology

Alok Vaid,Alexander Elia,Mark Kelling,John Allgair,Carsten Hartig,Peter Ebersbach,Erin Mclellan,Matthew Sendelbach,Nedal Saleh,Narender Rana,Hiroki Kawada,Toru Ikegami,Masahiko Ikeno,Takahiro Kawasaki,Cornel Bozdog,Helen Kim, Elad Arnon,Roy Koret,Igor Turovets

Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE（2012）

引用 16|浏览21
关键词
scatterometry,CD-SEM,LER,critical dimension,hybrid metrology,litho,FinFET,3D,EUV,NTD,PTR
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