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GROUP III NITRIDE COMPOSITE SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE

Keiji Ishibashi,Akihiro Hachigo,Yuki Hiromura,Naoki Matsumoto,Seiji Nakahata,Fumitake Nakanishi, Takuya Yanagisawa,Koji Uematsu,Yuki Seki, Yoshiyuki Yamamoto,Yusuke Yoshizumi,Hidenori Mikami

mag（2014）

引用 23|浏览9

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