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Impact of Modelisation Pixel Size on OPC Consistency

Franck Foussadier,Emek Yesilada,Jean-Christophe Le Denmat,Yorick Trouiller,Vincent Farys, Frédéric Robert,Gurwan Kerrien,Christian Gardin,Loic Perraud,Florent Vautrin,Alexandre Villaret,Catherine Martinelli,Jonathan Planchot, Jean Luc Di-Maria,Mazen Saied,Mame Kouna Top

Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE（2009）

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关键词
modelisation pixel size,consistency
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