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Computer Modeling of Single-Layer Nanocluster Formation in a Thin SiO2 Layer Buried in Si by Ion Mixing and Thermal Phase Decomposition

Thomas Pruefer,Wolfhard Moeller,Karl-Heinz Heinig,Daniel Wolf,Hans-Juergen Engelmann,Xiaomo Xu,Johannes von Borany

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS（2019）

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