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Effect of ITO target crystallinity on the properties of sputtering deposited ITO films

Shumin Yang,Benshuang Sun, Yang Liu,Jinpeng Zhu,Jianxun Song,Zhenhua Hao,Xueyun Zeng,Xu Zhao,Yongchun Shu,Jie Chen,Jianhong Yi,Jilin He

CERAMICS INTERNATIONAL（2020）

引用 61|浏览64

关键词

ITO,Target,Thin films,Crystallinity,Crystal structure

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