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The Elemental Composition Mixing in a Mo/Si Multilayer Structure under Overheating

O. Oberemok,T. Sabov,O. Dubikovskyi,O. Kosulya,V Melnik,B. Romanyuk,V Popov,O. Liubchenko,V Kladko,E. Zubarev, Y. Pershyn

Materials Today Proceedings（2021）

引用 2|浏览23

关键词

Nanoscale,Interface,Multilayer periodic structure,SIMS,SNMS,XRR

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