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The Quantitative 6H-Sic Crystal Damage Depth Profiling

M. Gloginji,M. Erich,M. Kokkoris,E. Liarokapis,S. Fazinic,M. Karlusic, K. Tomic,Luketic S. Petrovic

Journal of Nuclear Materials（2021）

引用 10|浏览15

关键词

6H-SiC,Quantitative crystal damage profiling,EBS

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