ОПТИМИЗАЦИЯ ПОЛОЖЕНИЯ ВРАЩАЮЩЕЙСЯ ПОДЛОЖКИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ НАПЫЛЕНИИ РАВНОМЕРНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ПОКРЫТИЙ А. В. Рогов,Ю. В. КапустинПриборы и техника эксперимента(2019)引用 1|浏览0AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要