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Working Principle and Layout Logic of Closed Magnetic Field in Sputtering

Cui Sui-Han,Guo Yu-Xiang,Chen Qiu-Hao,Jin Zheng,Yang Chao,Wu Zhong-Can,Su Xiong-Yu,Ma Zheng-Yong,Tian Xiu-Bo,Wu Zhong-Zhen

ACTA PHYSICA SINICA（2022）

引用 4|浏览13

关键词

closed magnetic field,electron motion,vacuum layout,deposition efficiency

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