基于MEMS的微热板结构仿真优化研究SHEN Weiqiang,YANG Junchao,MA Wei,ZHANG Genwei,YANG Jie,CAO ShuyaTransducer and Microsystem Technologies（2021）引用 0|浏览7AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
