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Electrically Actuated Microbeams: an Explicit Calculation of the Coulomb Integral in the Entire Stable and Unstable Regimes Using a Chebyshev-Edgeworth Approach

Hermann A. G. Schenk,Anton Melnikov,Franziska Wall,Matthieu Gaudet,Michael Stolz,David Schuffenhauer,Bert Kaiser

PHYSICAL REVIEW APPLIED（2022）

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