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High-Density and Low-Crosstalk Multilayer Silicon Nitride Waveguide Superlattices with Air Gaps

Wen-ling Li,Jing-wei Liu,Guo-an Cheng,Rui-ting Zheng,Xiao-ling Wu

IEEE PHOTONICS JOURNAL（2023）

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关键词
Air gaps,optical crosstalk,waveguide arrays
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