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Numerical Framework for Multi-Scale Modeling Planar DC Magnetron Sputtering

Si Bui Quang Tran,Fong Yew Leong,Ramanarayan Hariharaputran, Wenjun Ding,Po -Yen Lai, Duc Vinh Le

VACUUM（2023）

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关键词
Planar DC magnetron sputtering,Composition,Thin film,Discharge,Rarefied gas
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