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Vapor Etching to Avoid Micro-Masking by Gas-Bubbles in Wet Release of MEMS

Alejandro Plaza,Federico Maspero,Simone Cuccurullo,Giulia Pavese, Miguel Angel Badillo Avila,Riccardo Bertacco

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING（2023）

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关键词

wet etching,bubbles,micro-masking,MEMS

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