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Investigation of Vertical Channel IGZO-TFT Based on PVD-IGZO

Zhiyu Song,Gaobo Xu,Gangping Yan,Shangbo Yang,Yanna Luo,Guoliang Tian,Yinan Yan,Huaxiang Yin

2023 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)（2023）

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关键词

IGZO-TFT,vertical channel transistor,PVD IGZO,inverter.

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