谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用
VIPCreated with Sketch.

Linearized EUV Mask Optimization Based on the Adjoint Method.

Pinxuan He,Jiamin Liu,Honggang Gu,Hao Jiang,Shiyuan Liu

OPTICS EXPRESS（2024）

引用 3|浏览26
关键词
Mask Design,Extreme Ultraviolet Lithography
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要