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Deep and Weak Ultraviolet Photodetection on Micro-Nanotextured Black Silicon with Al2O3 Film

Zhou Zhao,Yonghua Wang,Yijun Zhang,Dan Liu,Zengxing Zhang,Chenyang Xue

IEEE SENSORS JOURNAL（2024）

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关键词
Al2O3,black silicon,self-powered,ultraviolet (UV) detection
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