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Dual-Channel Electrostatically Actuated MEMS Fabry-Perot Filtering Module for Near-Infrared Spectroscopic Detection

Siqi Liu, Wei Zhang,Jiahang Zhang,Liang Xu,Mingyu Yang,Sijia Jiang,Ding Ma,Qingbin Jiao,Xin Tan

ADVANCED MATERIALS TECHNOLOGIES（2024）

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关键词
bulk micromachining technology,dual-channel,electrostatic actuation,MEMS-FPC
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