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Selective Epitaxy of Tensile, Highly Doped SiP for Planar NMOS FD-SOI Devices

Joel Kanyandekwe,Jean-Michel Hartmann,Justine Lespiaux,Tanguy Marion, Lazhar Saidi, Valérie Lapras,Alice Bond, Fabien Bringuier,Jérôme Richy,Nicolas Gauthier, Alan Thouvard, Tim Biet, Ludovic Couture, Adrien Blot-Saby, Agathe Andre, Jérémy Marchand,Christophe Licitra,Remi Coquand, Alexis Royer,Tristan Dewolf,Haidar Al Dujaili, Andrea Lassenberger,Olivier Glorieux

ECS Meeting Abstracts(2024)

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