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Wafer-scale Integration of Alpha-Quartz Thin Films Towards Super High Frequency Piezoelectric Bionems for Arbovirus Detection

Raissa Rathar,David Sanchez-Fuentes, Sijie Ding,Claire Jolly, Charlote Andre,Rudy Desgarceaux, Ricardo Garcia,Jaume Gazquez, Sergi Plana,Laura Picas, Adrien Carretero

biorxiv（2024）

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