谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用
VIPCreated with Sketch.

Examination of Nonideal Film Growth in Batch Atomic Layer Deposition for Plasma-Resistant Coatings

Lanxin Guo,Yixian Wang,Zifan Pang, Xin Han, Yafeng Wang,Lipei Peng, Xin Gao,Chunlei Pei,Tuo Wang,Jinlong Gong

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A（2024）

引用 0|浏览8
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要